对于数控机床出现的爬行与振动的故障，不能急于下结论，而应根据产生故障的可能性，列出可能造成数控机床看待与振动的有关因素，然后逐个因素检查、分析、定位。
　　检查时，查到哪一处有问题，就将该处的问题加以分析，看是否是造成故障的主要矛盾，直至将每一个可能产生故障的因素都查到。最后再统筹考虑，提出一个综合性的解决方案，将故障排除。
排除数控机床进给系统的爬行与振动故障的具体方法如下。
　　1. 对故障发生的部位进行分析。
由于数控机床进给系统低速时的爬行现象往往取决于机械传动部件的特性，调整时的振动现象通宵宇进给传动链中运动副的预紧力有关，因此，爬行与振动故障的原因通常需要在机械部件中查找。
另外，因爬行和振动问题与进给速度密切相关，所以也要分析进给伺服系统的速度环和系统参数。
　　2. 机械部件故障的检查和排除
如果造成爬行与振动的原因在机械部件，则首先要检查导轨副。尽管数控机床的导轨副采用了滚动导轨、静压导轨或塑料导轨，但如果调整不好，仍会造成爬行或振动。对滚动导轨，应检查预紧是否良好；对静压导轨，应检查静压是否建立；对塑料导轨，应检查有否杂质或异物阻碍导轨副运动。
导轨副的润滑不好也可能引起爬行问题，有时出现爬行现象就是导轨副润滑状态不好造成的。这果可采用具有防爬作用的导轨润滑油，这种导轨润滑油中有极性添加剂，能在导轨表面形成一层不易破裂的油膜，从而改善导轨的摩擦特性。
其次，要检查进给传动链在进给系统中，伺服驱动装置到移动部件之间必定要经过由齿轮、丝杠螺母副或其他传动副所组成的传动链。提高这一传动链的扭转和拉压刚度，对于提高运动精度、削除爬行非常有益。
引起移动部件爬行的原因之一是轴承、丝杠螺母副和丝杠本身的预紧或不理想。传动链太长、传动轴直径偏小、支承和支承座的风度不够也是引起爬行的不可忽略的因素。因此，在检查时也要考虑这些方面是否有缺陷。
另外，机械系统连接不良，如联轴器损坏等也可能会引起机床的爬行和振动。